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기판센서
E3S-LS3N□
설정은 취부거리를 맞추는 것만으로 OK
검출할 수 있는 기판은 기본적으로는 모두 OK
(d=30mm). 예를들면 내열흑색, 녹색 레지스트,
백색 에보킨 등
거울면 배경의 영향을 받지 않음(60mm이상).
예를들면 경면SUS 간막이판 위에서도 검출에
영향이 없음
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