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사례 번호 391
웨이퍼 카세트 랙의 검출
슬릿 또는 감도 조정 유니트를 사용하면 광축이 좁혀져, 주변에 있는 검출하고 싶지 않은 물체를 검출하지 않고 안정 검출할 수 있습니다.
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종류
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외형도
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슬릿 또는 감도 조정 유니트를 사용하면 광축이 좁혀져, 주변에 있는 검출하고 싶지 않은 물체를 검출하지 않고 안정 검출할 수 있습니다.


소형 외형이므로 공간 절감・좁은 공간에서의 물체 검출이 가능합니다.

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