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사례 번호 373
웨이퍼 캐리어의 착좌 확인
웨이퍼 캐리어의 착좌를 확인할 수 있습니다.
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웨이퍼 캐리어의 착좌를 확인할 수 있습니다.






가이드와의 병용으로 착좌 위치를 설정하고 독자적인 광학계로 웨이퍼 캐리어를 안정 검출합니다.
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