測定ツールには、[幅測定]、[高さ測定]、[円測定]、[２点間測定]、[点-ライン間測定]、および[角度測定]機能が用意されています。ツールパラメータの上にあるドロップダウンメニューから希望する機能を選択します。
基本的なセットアップの流れは以下のとおりです。
測定ツールを画像領域に追加します。
設定パラメータの上にあるドロップダウンメニューから、希望する機能を選択します。
計測領域（ROI）を調整して、検出対象物が移動すると予想される領域をカバーします。
測定対象に合わせて、エッジ選択やエッジ強度、画像の前処理などの各設定パラメータを調整します。
必要に応じて、キャリブレーションを行います。キャリブレーションの詳細は線形キャリブレーションのセクションを参照してください。
合格基準とする許容差を設定します。設定方法の詳細は各ツールの設定パラメータのセクションを参照してください。
参考：幅測定、高さ測定、角度測定では、計測領域を回転させることができます。パラメータビューの左上にある回転アイコンをクリックすると、回転調整を有効にできます。
使用上の注意：測定タイプを切り替えると、ツール出力とGDSタグ間のリンクが失われます。これは、測定ツールを構成する基本コンポーネントが完全に削除され、ツールの機能が変更されるたびに再作成されるためです。