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사례 번호 263
이오나이저로 기판의 제전을 실현
팬 타입 이오나이저(정전기 제거 장비)로 설치 직전의 기판을 제전하여 정전기 파괴와 오염물 부착을 방지합니다.
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팬 타입 이오나이저(정전기 제거 장비)로 설치 직전의 기판을 제전하여 정전기 파괴와 오염물 부착을 방지합니다.


이온 밸런스를 센싱하고 이오나이저 내에서 피드백 제어하여, 고차원으로 제전 속도와 이온 밸런스를 실현합니다.
 
 
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