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사례 번호 47
약액 세정 내에서 웨이퍼를 안정 검출
약액 세정 공정에서 웨이퍼의 통과를 검출할 수 있습니다. 
올 불소 수지 가공이므로, 뛰어난 내약품・내유성을 가진 정전 용량형 근접 센서입니다. 
감도 볼륨을 부착하여 워크에 맞춰 검출 거리를 가변할 수 있습니다. 
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Features
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약액 세정 공정에서 웨이퍼의 통과를 검출할 수 있습니다.
올 불소 수지 가공이므로, 뛰어난 내약품・내유성을 가진 정전 용량형 근접 센서입니다.
감도 볼륨을 부착하여 워크에 맞춰 검출 거리를 가변할 수 있습니다.




기존 센서는 약품 비산 등의 영향을 받아 고장나는 경우가 있었습니다.
또한 불소 수지 타입 광학식 센서는 렌즈면에 약액 찌꺼기나 세정 물방울의 영향을 받아 안정 검출할 수 없는 경우가 있었습니다.
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