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사례 번호 43
약액 세정 공정에서 웨이퍼의 통과 검지
약액 세정 공정에서 웨이퍼의 통과를 검지할 수 있습니다. 
내약품성이 뛰어난 불소 수지를 채택한 화이버 센서입니다. 
또한 소구경 사이드 뷰 타입이므로 좁은 장소에도 간단하게 설치할 수 있습니다.  
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약액 세정 공정에서 웨이퍼의 통과를 검지할 수 있습니다.
내약품성이 뛰어난 불소 수지를 채택한 화이버 센서입니다.
또한 소구경 사이드 뷰 타입이므로 좁은 장소에도 간단하게 설치할 수 있습니다.



기존에는 내약품성과 사이드 뷰를 이용해 공간 절감을 양립시킨 센서가 없었습니다.
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