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사례 번호 91
웨이퍼의 노치와 편심의 위치 검출
웨이퍼의 노치 및 편심으로 인한 차광량 변화를 이용해 노치와 편심의 위치를 검출할 수 있습니다. 
폭 11mm의 검출 영역 안에서 웨이퍼로 인한 차광량이 비례합니다. 
검출 영역 내부는 특수한 광학 부품으로 인해 균일한 에어리어 빔이 됩니다. 
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| Lineup | Specifications | Dimensions |
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웨이퍼의 노치 및 편심으로 인한 차광량 변화를 이용해 노치와 편심의 위치를 검출할 수 있습니다.
폭 11mm의 검출 영역 안에서 웨이퍼로 인한 차광량이 비례합니다.
검출 영역 내부는 특수한 광학 부품으로 인해 균일한 에어리어 빔이 됩니다.


기존의 에어리어 센서는 완전하게 균일한 빔이 아니므로 웨이퍼의 노치 및 편심을 정확하게 검사할 수 없었습니다.
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