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사례 번호 270
기판 설치 공정에서 가열 온도의 미세 조정을 자동화
고속・고정밀도&멀티 출력 타입 디지털 조정계의 캐스케이드 제어를 사용합니다.  
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Features
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고속・고정밀도&멀티 출력 타입 디지털 조정계의 캐스케이드 제어를 사용합니다.

디지털 조절계(E5AR)의 캐스케이드 제어 기능을 사용합니다.
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