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사례 번호 211
RFID를 이용한 웨이퍼 제조 공정 관리
300mm 웨이퍼 반송 용기 FOUP에 RF 태그(IC 태그)를 설치하고 작업 지시 정보를 격납합니다. 품종 정보, 공정 지시 정보, 공정 완료 정보, Lot 정보, 검사 결과 등을 격납할 수 있습니다. 필요한 때 RF 태그(IC 태그)에서 필요한 정보를 판독할 수 있습니다.
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300mm 웨이퍼 반송 용기 FOUP에 RF 태그(IC 태그)를 설치하고 작업 지시 정보를 격납합니다. 품종 정보, 공정 지시 정보, 공정 완료 정보, Lot 정보, 검사 결과 등을 격납할 수 있습니다. 필요한 때 RF 태그(IC 태그)에서 필요한 정보를 판독할 수 있습니다.



FOUP에 RF 태그(IC 태그)를 설치하고 FOUP의 정보를 관리합니다.
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