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사례 번호 45
진공용 반송 시스템에서 웨이퍼의 유무 검지
10-5Pa의 고진공 상태의 환경에서 사용할 수 있습니다.
1ch과 4ch 플랜지의 라인업으로 사용 수에 따라 조합할 수 있습니다.
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10-5Pa의 고진공 상태의 환경에서 사용할 수 있습니다. 1ch과 4ch 플랜지의 라인업으로 사용 수에 따라 조합할 수 있습니다.





기존에는 진공조 내에서 사용할 수 있는 센서가 없어 웨이퍼의 유무를 확인할 수 없었습니다.
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