정반사형 레이저식 변위 센서의 측정 원리를 알려주세요.

정반사형 레이저식 변위 센서의 측정 원리를 알려주세요.

■측정 대상물의 거리가 변화하면, 수광 소자 상의 수광 위치가 변화하는 것을 이용하여 변위량을 구합니다.
수광 소자로 PSD를 사용한 것과 CMOS를 사용한 것이 있습니다.
아래 그림은 PSD 타입의 예시입니다.

　　　　　　 　　

레이저 광을 투광 렌즈로 집광하여 측정 대상물에 조사합니다.
측정 대상물로부터 반사된 빛은 수광 렌즈에 의해 PSD 위에 결상됩니다.
측정 대상물의 거리가 다르면 PSD 상의 결상 위치가 달라지며, 이에 따라 PSD의 두 출력이 변화합니다.
이 비율을 구함으로써 거리량으로 환산합니다.

■ 정반사 방식 스마트 센서 대상 기종
PSD 타입: 형식 ZX-LD30V, 형식 ZX-LD30VL
CMOS 타입: 형식 ZX2-LD50V

■확산 반사 방식과 정반사 방식의 차이는 다음과 같습니다.

　　　　　

확산 반사 방식은 검출 대상물로부터의 확산 반사광을 수광 렌즈로 집광하는 타입으로, 확산면에서 안정적이고 각도 편차 폭이 크더라도 측정이 가능합니다.
그러나 광택면에서는 정밀도가 떨어지며, 측정 불가능한 경우도 있습니다.
　　
정반사 방식은 검출 대상물로부터의 정반사광을 검출하는 타입으로, 광택면에서도 고정밀 측정이 가능합니다.
그러나 정반사 광학계이기 때문에 각도 허용 편차 폭은 작은 경향이 있습니다.