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진공에서 사용할 수 있는 광전 센서, 광섬유 센서가 있습니까?
- 등록일
- 2025. 12. 17.
진공에서 사용할 수 있는 광전 센서
광전 센서(앰프 분리형, 앰프 내장형, 전원 내장형) 중 진공 상태에서 사용 가능한 기종은 준비되어 있지 않습니다.
광섬유 센서의 경우, 내진공형 광섬유를 준비하고 있습니다.
내진공 파이버는 10⁻⁵ Pa의 고진공에서 사용 가능합니다. 단, 증폭기 부분은 진공 상태에 설치하지 마십시오.
아래 표를 참조하십시오.
■ 내진공 파이버
・플랜지는 진공 측을 밀폐하는 구조로 되어 있습니다.
・진공 측의 파이버 및 플랜지는 아웃가스 발생이 없는 재질을 사용하였습니다.
(유리 파이버, 파이버 피복은 불소 수지를 사용합니다.)
또한 클린룸에서 검사하고 부품 세척 후 밀봉 포장하여 출고하고 있습니다.
단, 플랜지, 진공측 파이버, 렌즈 유닛은 세척되었으나 고진공에서 사용 시, 만일을 대비하여 탈지 목적으로 알코올 등으로 세척해 주십시오.
・플랜지는 진공 측을 밀폐하는 구조로 되어 있습니다.
・진공 측의 파이버 및 플랜지는 아웃가스 발생이 없는 재질을 사용하였습니다.
(유리 파이버, 파이버 피복은 불소 수지를 사용합니다.)
또한 클린룸에서 검사하고 부품 세척 후 밀봉 포장하여 출고하고 있습니다.
단, 플랜지, 진공측 파이버, 렌즈 유닛은 세척되었으나 고진공에서 사용 시, 만일을 대비하여 탈지 목적으로 알코올 등으로 세척해 주십시오.
| 형식 | 검출 거리(㎜) *1 | 광 축 경 | 최소 검출 물체 | 내열 온도 | |||
| 모드 *2 | 형 E3X- HD 사용 시 | 형 E3NX- FA 사용 시 | 형 E3X- HD 사용 시 | 형 E3NX- FA 사용 시 | |||
| 형 E32-T51V 1M 케이블 굽힘 반경: R30 | GIGA | 720 | 1,080 | φ1.2 | φ10μm | φ4μm | 120℃ |
| HS | 260 | 390 | |||||
| ST | 400 | 600 | |||||
| SHS | 10 | 100 | |||||
| 형 E32-T51V 1M 및 형 E39-F1V *4 케이블 굽힘 반경: R30 | GIGA | 2,000 *3 | 2,000 *3 | φ4 | φ0.1㎜ | φ0.03㎜ | 120℃ |
| HS | 1,360 | 2,000 *3 | |||||
| ST | 2,000 | 2,000 *3 | |||||
| SHS | 520 | 520 | |||||
| 형 E32-T84SV 1M 케이블 굽힘 반경: R25 | GIGA | 1,760 | 2,000 *3 | φ2 | φ0.1㎜/ | φ0.03㎜ | 200℃ |
| HS | 640 | 960 | |||||
| ST | 950 | 1,420 | |||||
| SHS | 260 | 260 | |||||
*1검출 거리는 사용하는 파이버 앰프에 따라 다릅니다.
*2 GIGA: 기가 파워 모드, HS: 고속 모드, ST: 표준 모드, SHS: 최고속 모드
*3파이버 길이가 한쪽 1m이므로 2,000㎜로 표기합니다.
*4형 E3 9-F1V는 진공 파이버용 장거리 렌즈 유닛(별매)입니다 .
