●분해능

측정 대상물 및 센서가 정지하고 있는 상태에서의 측정값의 편차의 폭을 분해능이라고 합니다. 이 편차의 폭이 작을수록 분해능이 좋다(높음)라고 합니다.

●풀 스케일(FS)

측정 범위입니다.
예를 들어, 측정 범위 ±10mm의 센서의 풀 스케일은 20mm입니다.

●직선성(리니어리티)

선형 출력의 이상 직선에 대한 오차입니다.
일반적으로 측정범위(풀스케일:FS)에 대한 비율로 1%FS...와 같이 표현합니다.
　예) 리니어리티±0.2%FS　

        FS=20mm(측정범위 30mm~50mm)의 경우 오차를 치수로 환산하면±0.2×1/100×20=±40μm가 됩니다.

●온도 특성

주위 온도의 변화에 대한 리니어 출력의 변동량입니다.
통상, 측정 범위(풀 스케일：FS)에 대한 비율로, □%FS/℃와 같이 표현합니다.
　예)
　0.03%FS/℃(FS=20mm)
　이 경우, 1℃당 온도 변화에 대한 리니어 출력의 변동량은
　±0.03×1/100×20=±6μm
　가 됩니다.
　주위 온도가 23℃에서 55℃로 변화한 경우는
　±6×(55-23)=±192μm가
　됩니다.

●리니어 출력(아날로그 출력)

측정 결과를 전류 또는 전압으로 변환하여 출력하는 것을 말합니다.

●응답 시간

물체의 변위나 폭이 스텝상에 변화했을 때의 리니어 출력에 있어서, 아날로그 출력에서는 10~90%까지 변화하는데 필요한 시간을 「응답 시간」으로 표현합니다.

●수광 소자

광(레이저광)을 신호로 인식하기 위한 소자를 말합니다.
수광 소자에는 PSD(Position Sensitive Device), 촬상 소자(CCD(Charge Coupled Device), CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)) 등이 있습니다.

●정지 분해능

대상물, 센서가 정지하고 있을 때의 측정값의 편차의 폭입니다.
주로 센서나 컨트롤러의 내부적인 노이즈 등에 의한 변동이 영향을 받고 발생합니다.

●이동 분해능

평탄한 대상물 또는 센서 자신을 이동시켰을 때의 측정값의 편차의 폭입니다.
이동계측중의 검출물체의 표면상태에 의한 변동이 영향을 받아 발생합니다.
표면이 균일하고 매끄러운 물체(거울이나 유리 등)에서는 이동 분해능이 작아져 정지 분해능에 가까운 값을 계측할 수 있습니다. 또, 표면이 거친 물체(산란 워크)나, 레이저광의 반사량을 변동시키는 표면을 가지는 물체(얼룩 포함 워크)에서는, 이동 분해능은 커집니다. 이동분해능은 정지상태와 비교하면 대상물에 따라 10배 이상으로 분해능이 저하됩니다.

● 임피던스

회로에 교류 전류를 흘렸을 때 생기는 저항(교류 저항)을 말합니다.