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웨이퍼 캐리어 착좌 센서
EE-SPY801/EE-SPY802
웨이퍼캐리어와의 접촉면은 내약품성에 뛰어난
테프론수지로 보호
독자적인 광학계로 대부분의 웨이퍼캐리어를
안정적으로 검출
외란광에 강한 변조광 방식
코드는 클린코드(타르크분 없음)을 사용
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