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화이버 동축 변위 센서
ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈
투명체도 경면도 거친 표면을 초정밀 · 초고속 안정 측정

W4S1-05B, W4S1-05C는 2022 년 3 월 수주 종료 예정.
W4S1-03B는 2024 년 3 월 수주 종료 예정
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| Lineup | Specifications | Dimensions |
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[Controller] 진화하는 인라인 측정을 극대화하는 2가지 선택

흔들리고 기울어지는 「투명체ㆍ경면 워크」의 측정에는 초고정밀도ㆍ고속 타입 ZW-8000

흔들리고 기울어지는 광택ㆍ슬림ㆍ미세 부품을 인라인으로 고정밀도 측정

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 3
ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 4

경면(경사ㆍ곡면)

기존의 레이저 변위 센서에 비해 광택면에서도 경사ㆍ곡면의 형상을 고정밀도로 측정할 수 있습니다.

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 5

투명체

기존에는 측정하기 어려웠던 얇은 투명 시트나 필름의 안쪽과 바깥쪽 면의 반사광을 분리하여 측정할 수 있습니다.

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 6
ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 7

아주 작은 물체

기존에는 스폿 지름이 커서 크기가 작은 물체를 제대로 측정할 수 없었습니다. 초소형 스폿을 채택하여 측정하고 싶은 곳을 아주 세밀하게 측정할 수 있습니다.

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 8

측정 조건에 맞춰 선택할 수 있는 소스폿 헤드군을 라인업

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 9

*1. 센서 헤드 ZW-S8010/ZW-S7010/ZW-S5010인 경우의 대표값입니다.
*2. ZW-S8010의 대표값. 단, 굴곡률이 1.5인 투명체의 경우.
*3. 센서 헤드 ZW-S8010의 대표값입니다.
주. 표준적인 정밀도에서 빠른 속도로 측정하려면 스탠다드 타입인 ZW-5000을 선택해 주십시오.

고속으로 이동하는 「조면 워크」의 측정에는 초고속ㆍ초정밀 타입 ZW-7000

확산 반사 워크를 이동하면서 초고속ㆍ안정 측정

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 11
ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 12

형상

기존에는 평균 횟수 설정으로 안정성을 올리고 있었는데 형상이 흐려지는 트레이드 오프가 발생했습니다. ZW-7000에서는 최고속 20μs의 고속 샘플링과 평균화 없는 안정 측정으로 고속ㆍ형상 측정을 실현합니다.

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 13

거친 표면*5의 평탄도

기존에는 워크의 다중 반사광이 측정값 편차를 유발하여 본래 측정하려는 「평탄도」를 파악할 수 없었습니다. 또한, 센서 헤드의 방향과 헤어라인의 방향에 따라서는 편차가 더욱 커집니다. 백색 공초점 변위 센서를 사용하면 다중 반사광의 영향을 받지 않고 실제 형상에 가까운 평탄도를 한 번에 측정할 수 있습니다.

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 14

*4. ZW-S7030 이외의 데이터에 대해서는 당사 판매사원에게 문의해 주십시오.
*5. 절삭 흔적, 헤어라인 등이 있는 워크입니다.
*6. ZW-S7020의 경우.
*7. ZW-S7020 이외의 데이터에 대해서는 당사 판매사원에게 문의해 주십시오.
주. 게재된 측정 그래프는 모두 대표 예입니다. 측정 대상물의 형상 및 재질에 따라서는 측정에 영향을 줄 수 있습니다. 실제 사용 시에는 사전에 실제 기기를 이용해 확인해 주십시오.

[센서 헤드] 각종 공정 및 장비 내장에 대응하는 다양한 헤드 종류

초소형 헤드 추가로 기기 내장을 더욱 자유롭게

제품이 슬림화, 곡면화, 소형화를 거듭할수록 검사 공정의 난이도가 점점 고도화되어 상류 조립 공정의 가시화 및 조립 제어가 필요하게 되었습니다.
그래서 오므론에서는 측정 거리가 긴 각형 타입 외에 협소한 공간에도 내장할 수 있는 초소형 펜 타입(스트레이트ㆍ직각)을 라인업 했습니다.

조립 공정에 최적

구조물이나 로봇, 스테이지에 대한 간섭 감소

펜형 스트레이트 타입

측정 범위
7 ± 0.3mm / 10 ± 0.7mm
분해능 * 1 : 2nm
리니어리티 : ± 0.3μm
무게 * 2 : 약 27g
주. 대표 값

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 20

펜형 직각 타입

측정 범위
7 ± 0.3mm / 10 ± 0.7mm
분해능 * 1 : 3nm
리니어리티 : ± 0.45μm
무게 * 2 : 약 31g
주. 대표 값

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 21

검사 공정에 최적

엄격한 검사 정밀도에도 대응

각형 스트레이트 타입

측정 범위
10 ± 0.5mm / 20 ± 1mm / 30 ± 2mm / 40 ± 3mm * 3
해상도 * 1 : 2nm
리니어리티 : ± 0.3μm
무게 * 2 : 약 170g
주. 대표 값

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 24

*1. 측정 범위 전체.
*2. ZW-8000/ZW-7000 시리즈의 화이버 케이블 길이 0.3m인 경우.
*3. 40mm 타입은 ZW7000 시리즈만 해당.
※사진은 ZW-8000 시리즈. ZW-7000/ZW-5000 시리즈도 같은 사이즈입니다.

[유용성] 백색 공초점 방식이므로 효율적으로 배치ㆍ이동이 가능하여 생산 택 타임이 향상

공정 생략: 센서 헤드의 회전 공정이 불필요

기존에는 수광 소자의 반사 위치에서 워크 높이를 측정했기 때문에 측정 대상물의 형상이나 이동 방향에 맞춰 센서 헤드를 회전시키는 공정이 필요했습니다.
백색 공초점 변위 센서를 사용하면 방향의 제약이 없어 동일한 설치 위치에서 모든 방향으로 이동하여 측정할 수 있습니다.

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 27

가동부에도 안심하고 사용할 수 있는 내굴곡 화이버 케이블

컨트롤러와 센서 헤드는 직경 3mm의 내굴곡 화이버 케이블로 접속.
300만 회의 굴곡 테스트*2를 통과하여 가동부에도 안심하고 사용할 수 있습니다.

*2. 당사 규정 평가 조건 「굴곡 반경(20mm)×300만 회」

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 28

이동 측정 시에도 안심: 케이블 베어 배선 대응

프리앰프ㆍ광학 부품이 화이버 케이블에 내장되어 있지 않으므로 케이블 베어 및 배선 보호관 안에 배선하는 이동 측정의 경우에도 안심하고 사용할 수 있습니다

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 29

연장용 케이블로 대형 장비에 대응

30m 연장 케이블을 접속하면 최대 32m까지 연장할 수 있어 대형 장비에 손쉽게 배선할 수 있습니다.

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 30

콤팩트한 Fanless 컨트롤러

광원과 분광기 등의 광학 유니트와 센서 컨트롤러가 일체형으로 구성된 콤팩트 사이즈이므로 제어부에 DIN 레일로 공간을 절약하여 설치할 수 있습니다. 또한, Fanless 구조로 반도체 및 전자 부품의 클린룸에서도 안심하고 사용할 수 있습니다

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 31

시간 단축: 여러 개의 센서로 동시 측정

기존의 레이저 변위 센서 사이즈로는 공간에 제약이 있어 여러 개의 센서를 병렬로 설치하여 측정하기 어려웠던 경우라도 펜형 스트레이트 헤드를 밀착 설치하여 시간을 단축할 수 있습니다.

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 32

백색 공초점의 장점

측정 포인트가 어긋나지 않음

기존에는 높이에 따라 측정 포인트나 스폿 사이즈가 바뀌어 휘어짐이나 기울기의 영향으로 원하는 위치를 정확하게 측정할 수 없는 경우가 있었습니다. 백색 공초점 변위 센서를 사용하면 측정 범위의 어느 위치에서도 동일한 측정 포인트로 정확하게 측정할 수 있습니다.

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 34

좁은 공간 및 벽 근처에서 측정 가능

때 반사광이 벽면에 차단되거나 센서나 워크의 방향을 매번 조정해야 했었습니다. 백색 공초점 변위 센서를 사용하면 조사광과 반사광이 대상물에 대해 동일한 축이 되므로 설치 방향과 관계없이 좁은 공간이나 아주 작은 대상물을 측정할 수 있습니다.

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 35

[유용성] 백색 공초점 방식이므로 번거로운 대책 및 설계ㆍ조정 공수를 절감

EMC 대책ㆍ열 설계의 공수 절감

센서 헤드는 노이즈 및 열의 발생 원인이 되는 전자 부품이나 표시등을 완전히 배제.
전기 노이즈ㆍ자기 노이즈의 영향을 받지 않는 구조이므로 노이즈가 발생하기 쉬운 장소에서도 안정적으로 사용할 수 있습니다. 또한, 노이즈와 열을 모두 발생시키지 않아 주위 기기 및 지그신축으로 인해 측정값에 악영향을 미치는 경우가 없습니다.

EMC 대책

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 38

열 설계

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 39

[특허 출원 중] 다점 스케일링으로 사선 방향 측정 및 글래스 통과 측정도 안정적으로 수행

기존의 2점 스케일링에서는 보정이 불가능했던 사선 방향 측정 및 글래스 통과 측정 시에서도 ZW는 최대 10점까지 다점 스케일링을 통한 튜닝을 실현*1. 안정적으로 측정할 수 있습니다.

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 41

*1. ZW-8000 시리즈에서 지원

레이저 안전 대책이 불필요

백색 광원*2을 채택하여 기존의 레이저 광원에서 필요했던 설비의 안전 대책 및 작업 종사자에 대한 안전 교육이 불필요합니다.

기존에는 레이저 사용과 관련된 안전 대책이 필수

레이저 변위 센서는 장비 주변에 안전 대책을 위한 차폐 대책 및 작업 종사자에 대한 안전 교육이 필요했습니다.

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* 2. ZW-8000 시리즈는 Class 1로 분류됩니다.

[특허] 캘리브레이션 ROM으로 헤드ㆍ컨트롤러의 호환성과 고정밀도를 동시에 실현

센서 헤드와 센서 컨트롤러는 호환성이 있으므로 추가 비용 없이 신속하게 복구할 수 있습니다.
또한, 센서 헤드에는 개체별 보정값을 센서 컨트롤러에 전달하는 캘리브레이션 ROM이 부속되어 호환성과 고정밀도 측정을 모두 실현합니다.

ZW-8000 / 7000 / 5000 시리즈 기능 45

최첨단 기능 「EdgeTracks」*2로 다층 워크도 안정적으로 측정 * 2 [특허 출원 중]

다층 워크 측정 시 워크가 흔들려 측정할 수 없는 상태가 되어도 타겟층의 경계면을 안정적으로 측정할 수 있습니다.

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