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노즐 갭 계측 센서
ZS-LD10G/15G
다양한 FPD 유리 기판의 표면을 고정밀도로 계측하여 품질과 수율 향상에 공헌
이동/분해 가능. 이동 계측시 패턴의 영향이 적음
노즐의 목표 지점과 계측포인트를 일치시켜 계측
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