・RF 태그(IC 태그)를 렌즈 모듈이 탑재된 전용 팔레트에 설치합니다. 제품 정보 Lot, 팔레트 위치 정보, 각 공정의 작업 지시, 공정 완료 플래그, 다음 공정 지시 정보 등을 RF 태그(IC 태그)에 기록합니다.
・각 공정에서는 장비에 설치된 안테나로 RF 태그(IC 태그)의 정보를 판독한 뒤 그 정보를 바탕으로 가공하고 검사합니다. 검사 공정에서는 검사 결과의 OK/NG 정보를 기록합니다.
・최종 공정에서는 RF 태그(IC 태그)로 전체 정보를 판독하고, 관리용 컴퓨터에 Lot 관리용 데이터로 격납한 뒤 관리합니다.
・최종 공정 후의 세정에서 전용 팔레트의 사용 횟수를 카운트업하고 수명도 관리합니다.
・세정 공정이 1사이클별로 있으므로 환경 성능이 높은 RF 태그(IC 태그)가 필요해집니다.
・팔레트에 공간이 없으므로 Φ8mm×H5mm의 소형 사이즈인 RF 태그(IC 태그)가 필요해집니다.
・기기 측의 공간도 제한되므로 소형 안테나를 사용합니다.