글래스 기판의 세정 공정에서 글래스 기판의 통과를 검출합니다.
세정액에 강하고 메커니컬 조정이 불필요한 화이버 센서로, 검출 범위가 넓기 때문에 글래스와의 위치 조정이 간단합니다.
새로운 발상의 수분 제거 터프 모드를 탑재한 전용 화이버 앰프를 통해, 액체의 비산에 강한 여유 있는 안정 검출을 실현했습니다.
Wet 프로세스의 세정액에 영향을 받지 않고, 간단하게 설치할 수 있는 센서가 없었습니다. 또한, 센서에 물방울이 닿아 물방울의 영향으로 안정 검출할 수 없었습니다.