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어플리케이션 사례

사례 번호 37

350℃의 고온 환경에서 웨이퍼의 통과 검지

고온 환경의 웨이퍼 베이킹 공정에서 웨이퍼를 안정 검출할 수 있습니다.

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	특징

고온 환경의 웨이퍼 베이킹 공정에서 웨이퍼를 안정 검출할 수 있습니다.

기존에는 350℃의 고온로 내에서 사용할 수 있는 내열 화이버 센서가 없어, 고온로의 앞뒤에서 2세트의 화이버 센서를 사용했습니다.

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