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기판 외관 검사 장치
VT-S530
고 생산성 · 고분해능 유형! Full-3D 검사 VT-S 시리즈에 새로운 모델 등장!
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하드 구성

 

외형 1180 (W) × 1640 (D) × 1500 (H) mm
질량 750kg
전원 AC200 ~ 240V (단상) 변동 범위 ± 10 %
라인 높이 900 ± 20mm
에어 0.4 ~ 0.6MPa

 

기능 사양

 

최소 기판 사이즈 50 (W) × 50 (D) mm
최대 기판 크기 듀얼 운용 : 510 (W) × 330 (D) mm
싱글 운용 : 510 (W) × 680 (D) mm
두께 0.4 ~ 4mm
통관 보드 : 50mm 
기판 아래 : 50mm
높이 측정 범위 25mm

 

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