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사례 번호 299
(약액 감시)
반도체 등에 사용하는 액체 및 약액의 저항값을 표시하여 약액의 품질 관리가 가능해집니다.
사례 번호 43
(약액 세정 공정에서 웨이퍼의 통과 검지)
약액 세정 공정에서 웨이퍼의 통과를 검지할 수 있습니다. 내약품성이 뛰어난 불소 수지를 채택한 화이버 센서입니다. 또한 소구경 사이드 뷰 타입이므로 좁은 장소에도 간단하게 설치할 수 있습니다.
사례 번호 47
(약액 세정 내에서 웨이퍼를 안정 검출)
약액 세정 공정에서 웨이퍼의 통과를 검출할 수 있습니다. 올 불소 수지 가공이므로, 뛰어난 내약품・내유성을 가진 정전 용량형 근접 센서입니다. 감도 볼륨을 부착하여 워크에 맞춰 검출 거리를 가변할 수 있습니다.
사례 번호 360
(약제 혼합과 계량 시스템의 자동화)
・혼합 지시의 자동화 및 확실한 계량을 통해, 오류가 없어져 폐기 비용을 절감할 수 있습니다. ・확실한 혼합, 품질 관리를 실현할 수 있어, 이력 관리도 간단하게 실시할 수 있습니다.
사례 번호 44
(약품이 비산하는 약액조의 금속 카세트 검출)
염화비닐 수지 케이스 너머로 SUS 카세트만 검출하므로, 약액 층에 침수되는 카세트의 위치를 검출할 수 있습니다. 내약품성이 뛰어난 불소 수지의 채택을 통해, 약품이 비산하는 까다로운 환경에서도 사용할 수 있습니다.
사례 번호 357
(어넌시에이터)
이상을 알리는 경보등에 사용할 수 있습니다.
사례 번호 321
(어플리케이션에 Only One을 실현하는 화이버 센서)
각각의 어플리케이션에 완벽 대응하는 화이버 센서를 세미 커스텀 메이드를 통해 해결하고 고객에게 Only One을 제공합니다.
Pick & Place
(업계 초고속의 240 Cycle/min)
Random 하게 무작위로 생산되어 나오더라도 Pick & Place 작업을 완벽하게 수행하는 ROBOT
사례 번호 330
(업무용 온풍기의 제어성 향상에 최적)
1000℃ 이상에서도 소수점 표시를 실현합니다. 3색 표시 변환 기능을 통해 현재 상황의 파악도 표시색 변화에 의해 일목 요연해집니다.
사례 번호 446
(에어 클린 기기로 대형 클린 부스 내의 양압 관리)
에어 클린 기기로 대형 클린 부스 내의 양압을 관리합니다.
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