Local Navigation
►SEMI 규격에 대응(E4, E5, E99, E15.1) ►SECS 커멘드에 대응(V700-L22 사용시) ►WEB 브라우저 기능 탑재. 전용 소프트를 사용하는 일 없이 각종 설정/ID 태그와의 교신이 가능. (Ethernet 타입) ►테스트 모드/CIDRW 헤드 단선 검지의 신기능을 탑재 ►해외 규격에 대응(FCC, R&TTE 지령, 캐나다의 전파법)