모델기 소개

초장거리에서 초고정밀도까지 핵심적인 품질을 지원하는 백색, 공초점 방식의 변위 센서와 NJ LC의 EtherCAT 통신을 통해 모션 동기화하여, 단차가 있는 워크의 변위량을 고정밀도로 계측이 가능합니다.

스테이지와 연동된 이동 측정

여러 센서의 동기 측정

임의 타이밍의 트리거 측정

높이의 변화에 대응

2차원 형상 데이터 수집