온도는 고도로 디지털화된 사회를 구축하는데 필수적인 소형 및 다층 반도체 제품의 품질에 광범위한 영향을 미칩니다.
NX-HTC는 공간을 절약하고 기능 값을 시각화하는 기능을 통해 엄격한 온도 제어를 제공하면서 품질과 생산성을 향상시키는데 도움이 됩니다.

 [과제] 온도를 보다 정확하게 제어하기 위해 온도 제어 점수가 증가하고 추가 장비가 필요하기 때문에 Footprint를 유지하기가 어렵습니다.

 1유니트로 8Ch 제어*1에 대응.
이전 모델인 NX-TC 4Ch 2대를 사용하는 경우와 비교해,
폭을 약 40% 공간 절약을 할 수 있습니다.

*1. 표준제어의 경우

업계 최소 사이즈의 소형 커넥터 단자대와 전용 케이블로 배선을 줄이므로 제어반 내의 점유 면적을 더욱 작게 할 수 있습니다.

 넓은 온도 범위에서 0.01℃의 고해상도로 높은 온도에서도 고정밀 온도 제어 구현 가능.

 [과제] 가공 정밀도의 미세화에 의해 장치 기구의 온도가 품질에 영향을 미친다.
             배관이나 밸브 등 다양한 개소의 온도 측정이 필요

비접촉 온도 센서에 의한 온도 제어 및 장치 기구의 온도 모니터링이 가능합니다.

• 측정 온도 -50~500°C, -50~1,000°C
• 재현성 ±0.5℃, 응답 속도 0.14초(95%)와 고정밀도, 고속 측정.

[과제]  ?예측할 수 없는 외란이나 워크의 변화에 ??의한 웨이퍼의 뒤틀림 및
                장비(예: 센서 위치 편차 또는 히터 열화)로 인해 수율 감소

워크·설비·환경의 변동 예

생산 중 발생하는 온도 파형의 흔들림과 승온 시 파형을 자동으로 특징량화

온도 제어 시 파형을 특성화하여 설비 상태를 정량적으로 관리합니다. 이를 통해 설비 상태가 평소와 다른 것을 조기에 발견하여 불량품 감소에 기여합니다.

【과제】?반도체의 미세화, 집적화에 따라 온도 제어가 어려워지고, 정형 외란에 의한 온도 변동이 품질에 영향을 미친다.

챔버 도어 개폐에 의한 외기 유입 등 예측 가능한 온도 변동에 대해 안정적으로 자동 제어. 품질 향상 및 온도 안정화까지의 대기 시간을 단축하여 생산 능력 향상에 기여합니다.

생산 능력 향상에 기여 

온도 변동을 억제하여 온도 안정화까지의 대기 시간을 기존 대비 최대 80%까지 줄일 수 있습니다.

*오므론에서 측정한 데이터

외란 억제 기능이란 예측 가능한 외란에 대해 미리 온도 변동을 억제하는 제어 기능입니다. 외란 발생 전에 온도 조절기 유닛에 신호를 입력하면 본 기능이 작동하여 조작량을 가산 또는 감산합니다. 외란 오토 튜닝에 의해 FF(피드포워드) 조작량, FF 동작시간과 FF 대기시간을 자동 조정합니다.