300mm 웨이퍼 반송 용기 FOUP에 RF 태그(IC 태그)를 설치하고 작업 지시 정보를 격납합니다. 품종 정보, 공정 지시 정보, 공정 완료 정보, Lot 정보, 검사 결과 등을 격납할 수 있습니다. 필요한 때 RF 태그(IC 태그)에서 필요한 정보를 판독할 수 있습니다.
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