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사례 번호 48
진공조 내 글래스 기판의 통과 검지
진공조 내를 통과하는 글래스 웨이퍼를 뷰 포트 너머로 검출할 수 있습니다. 
투명 글래스의 미세한 신호차를 식별할 수 있는 광학・회로 기술을 채택했습니다.  
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진공조 내를 통과하는 글래스 웨이퍼를 뷰 포트 너머로 검출할 수 있습니다.
투명 글래스의 미세한 신호차를 식별할 수 있는 광학・회로 기술을 채택했습니다.



기존의 회귀 반사형 센서에서는 미세한 빛의 감쇠만 있는 투명 글래스를 안정적으로 검출하는 것이 곤란했습니다.
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