Page top

 
OMRON IA Global
Sitemap Login Sign Up
사례 번호 45
진공용 반송 시스템에서 웨이퍼의 유무 검지
10-5Pa의 고진공 상태의 환경에서 사용할 수 있습니다. 
1ch과 4ch 플랜지의 라인업으로 사용 수에 따라 조합할 수 있습니다. 
 스크랩하기

Service Info
    대체상품보기
대체상품이 존재하지 않습니다.
Features
| Lineup | Specifications | Dimensions |
Features
10-5Pa의 고진공 상태의 환경에서 사용할 수 있습니다. 1ch과 4ch 플랜지의 라인업으로 사용 수에 따라 조합할 수 있습니다.





기존에는 진공조 내에서 사용할 수 있는 센서가 없어 웨이퍼의 유무를 확인할 수 없었습니다.
Top of page
OMRON Korea 개인정보 처리방침 웹사이트 이용약관 및 권장환경 마케팅 정보 활용방침