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사례 번호 446
에어 클린 기기로 대형 클린 부스 내의 양압 관리
에어 클린 기기로 대형 클린 부스 내의 양압을 관리합니다.
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에어 클린 기기로 대형 클린 부스 내의 양압을 관리합니다.





레인지 500~+500Pa, 차압 정밀도 ±3%의 고정밀도 계측을 실현합니다. 보다 정확한 차압 관리가 가능해져, 부스 내 흡배기량의 변동 및 FFU 필터 로딩으로 인한 양압 저하 관리에 공헌합니다.
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