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사례 번호 272
기판 설치 공정의 노 내부 온도 균일화
・외부의 아날로그 신호(4~20mA)를 설정값(SP값)으로 사용(리모트 SP 기능)합니다.
・합계 3대의 조절계로 노 내부 온도의 균일화를 실현합니다. 전기로 내의 구역 제어를 조절계의 전송 출력 기능을 사용해 실현합니다.
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